厂家型号

KEYENCE、VK-X3000

主要功能

仪器可以实现材料表面形貌的观察，平面或三维测量。可以采用3D观测模式对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可以做高度，宽度，横截面，角度，R值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等的测量分析。同时可以做材料断口、金相的观测，陶瓷，微流道，微加工，现代加工制造，MEMS研究，微纳制造等。

主要参数

1.光源：设备采用661nm激光器，符合GB7247.1标准，为安全二类激光，激光输出功率0.9mW；

2.可检测陡峭斜面 87.1°；

3.成像部分：

1)激光成像部分:采用 16bit 光电倍增管接收光学信号；

2)真彩色成像部分:560 万物理像素超高精细CMOS摄像单元；

放大倍率：综合倍率范围40x~28800x，视野范围11~7398um；

4.分辨率：设备XY方向显示分辨率1nm，XY方向测量重复精度50nm，设备可支持拓展原厂白光干涉模块具备Z方向显示分辨率0.01nm，设备Z方向测量重复精度20nm，测量准确度和重复性带有可追溯体系；

5.图像扫描:设备具有具备面扫描和线扫描两种扫描方式，面扫描速度 125Hz线扫描速度7900Hz。

设备图片